1、 Priprema za prskanje
Veoma je važno održavati vakuumsku komoru, posebno sistem za raspršivanje, čistim.Svaki ostatak nastao od ulja za podmazivanje, prašine i prethodnog premaza će sakupiti vodenu paru i druge zagađivače, što će direktno uticati na stepen vakuuma i povećati mogućnost kvara u stvaranju filma.Kratki spoj ili lučni luk na meti, gruba površina filma i preveliki sadržaj hemijskih nečistoća često su uzrokovani nečistom komorom za raspršivanje, pištoljem za raspršivanje i metom.Kako bi se postigle karakteristike sastava premaza, potrebno je očistiti i osušiti plin za raspršivanje (argon ili kisik).Nakon što se supstrat ugradi u komoru za raspršivanje, potrebno je izvući vazduh da bi se postigao vakuum koji je potreban za proces.Zaštitni poklopac u tamnom području, zid šupljine i susjedna površina također moraju biti čisti.Prilikom čišćenja vakuumske komore, preporučujemo korištenje staklenih kuglica za tretiranje prašnjavih dijelova, zajedno sa komprimiranim zrakom za uklanjanje ranih ostataka prskanja oko komore, a zatim tiho poliranje vanjske površine brusnim papirom impregniranim glinicom.Nakon poliranja gaz papir se čisti alkoholom, acetonom i dejonizovanom vodom.Zajedno zagovara upotrebu industrijskog usisivača za pomoćno čišćenje.Mete koje proizvodi Gaozhan metal su upakovane u vakumsko zapečaćene plastične kese,
Ugrađeno sredstvo otporno na vlagu.Kada koristite metu, ne dodirujte metu direktno rukom.Napomena: kada koristite metu, nosite čiste rukavice za održavanje bez dlačica.Nikada ne dodirujte metu direktno rukama
2、 Ciljno čišćenje
Svrha čišćenja mete je uklanjanje prašine ili prljavštine koja može postojati na površini mete.
Metalna meta se može očistiti u četiri koraka,
Prvi korak je čišćenje mekom krpom koja ne ostavlja dlačice natopljenom acetonom;
Drugi korak je sličan prvom koraku, čišćenje alkoholom;
Korak 3: očistite dejonizovanom vodom.Nakon pranja dejonizovanom vodom, stavite metu u rernu i sušite je na 100 ℃ 30 minuta.
Čišćenje oksidnih i keramičkih meta vrši se „krpom bez dlačica“.
Četvrti korak je ispiranje mete argonom pod visokim pritiskom i niskim vodenim gasom nakon uklanjanja prašnjavog područja, kako bi se uklonile sve čestice nečistoće koje mogu stvoriti luk u sistemu za raspršivanje.
3、 Ciljni uređaj
U procesu postavljanja mete, Z važne mjere opreza su da se osigura dobra toplinska provodljivost veze između mete i rashladnog zida pištolja za raspršivanje.Ako je iskrivljenje rashladne letvice ozbiljno ili je iskrivljenje zadnje ploče ozbiljno, ciljni uređaj će napuknuti ili savijati se, a toplotna provodljivost od zadnje mete do mete će biti jako pogođena, što će rezultirati neuspjehom odvođenja topline u procesu prskanja, a meta će puknuti ili promašiti
Kako bi se osigurala toplinska provodljivost, sloj grafitnog papira može biti podstavljen između stijenke katode za hlađenje i mete.Molimo obratite pažnju da pažljivo provjerite i razjasnite ravnost rashladnog zida pištolja za prskanje koji se koristi kako biste osigurali da je O-prsten uvijek na svom mjestu.
Budući da će se čistoća rashladne vode koja se koristi i prašina koja se može pojaviti tokom rada opreme taložiti u katodnom spremniku vode za hlađenje, potrebno je provjeriti i očistiti katodni spremnik vode za hlađenje prilikom ugradnje mete kako bi se osiguralo nesmetano cirkulaciju rashladne vode i da ulaz i izlaz neće biti blokirani.
Planirano je da neke katode imaju mali prostor sa anodom, pa je prilikom ugradnje mete potrebno osigurati da nema dodira ili provodnika između katode i anode, inače će doći do kratkog spoja.
Pogledajte Priručnik za rukovaoca opreme za informacije o tome kako pravilno upravljati metom.Ako u korisničkom priručniku nema takvih informacija, pokušajte da instalirate uređaj prema relevantnim prijedlozima koje daje Gaozhan metal.Prilikom zatezanja učvršćenja mete, prvo zategnite jedan vijak rukom, a zatim rukom zategnite drugi vijak na dijagonali.Ponavljajte ovo dok se svi vijci na uređaju ne zategnu, a zatim zategnite nečim.
4、 Provjera kratkog spoja i nepropusnosti
Nakon završetka ciljanog uređaja potrebno je provjeriti kratki spoj i nepropusnost cijele katode,
Predlaže se da se pomoću mjerača otpora utvrdi da li postoji kratki spoj na katodi
Diskriminacija u redovima.Nakon potvrde da nema kratkog spoja na katodi, može se izvršiti detekcija curenja i voda se može uvesti u katodu kako bi se potvrdilo da li postoji curenje vode.
5、 Ciljno prethodno raspršivanje
Prethodno raspršivanje mete zagovara čisto raspršivanje argonom, koje može očistiti površinu mete.Kada je meta prethodno raspršena, preporučuje se polagano povećanje snage raspršivanja, a stopa povećanja snage keramičke mete je 1,5 WH / cm2.Brzina prethodnog raspršivanja metalne mete može biti veća od brzine keramičkog bloka mete, a razumna stopa povećanja snage je 1,5 WH / cm2.
U procesu prethodnog prskanja, moramo provjeriti luk mete.Vrijeme prije prskanja je općenito oko 10 minuta.Ako nema pojave luka, stalno povećavajte snagu prskanja
Na postavljenu snagu.Prema iskustvu, prihvatljiva Z visoka snaga prskanja metalne mete je
25W/cm2, 10W/cm2 za keramičku metu.Molimo pogledajte osnovu podešavanja i iskustvo pritiska u vakuumskoj komori tokom raspršivanja u korisničkom priručniku za rad sistema.Općenito, treba osigurati da temperatura vode na izlazu iz rashladne vode bude niža od 35 ℃, ali Z je važno osigurati da cirkulirajući sistem vode za hlađenje može efikasno raditi
Brza cirkulacija prehlađene vode oduzima toplinu, što je važna garancija za kontinuirano raspršivanje velike snage.Za metalne mete, općenito se zagovara da je protok rashladne vode
20lpm pritisak vode je oko 5gmp;Za keramičke mete, općenito se zagovara da protok vode bude 30 lpm, a pritisak vode oko 9 gmp
6、 Ciljno održavanje
Kako bi se spriječio kratki spoj i stvaranje luka uzrokovanih nečistim šupljinama u procesu raspršivanja, potrebno je postupno ukloniti rasprskavanje nakupljeno u centru i na obje strane staze za raspršivanje,
Ovo također pomaže korisnicima da kontinuirano prskaju pri z velikoj gustoći snage
7、 Ciljno skladište
Mete koje daje Gaozhan metal su pakirane u dvoslojne vakuumske plastične vrećice.Zalažemo se da korisnici čuvaju mete, metalne ili keramičke, u vakum ambalaži.Konkretno, ciljevi vezivanja se moraju čuvati u vakuumskim uslovima kako bi se sprečilo da oksidacija veznog sloja utiče na kvalitet vezivanja.Što se tiče pakovanja metalnih meta, zalažemo se da se Z pakuje u čiste plastične kese
Vrijeme objave: 13.05.2022