Raspršeni ciljni materijali imaju visoke zahtjeve tokom upotrebe, ne samo za čistoću i veličinu čestica, već i za ujednačenu veličinu čestica.Ovi visoki zahtjevi nas tjeraju da posvetimo više pažnje kada koristimo ciljane materijale za raspršivanje.
1. Priprema za prskanje
Veoma je važno održavati čistoću vakuum komore, posebno sistema za raspršivanje.Maziva, prašina i bilo koji ostatak od prethodnih premaza mogu akumulirati zagađivače kao što je voda, direktno utječući na vakuum i povećavajući vjerojatnost neuspjeha stvaranja filma.Kratki spojevi, lučni luk na meti, grube površine koje stvaraju film i prekomjerne kemijske nečistoće obično su uzrokovane nečistim komorama za raspršivanje, puškama i metama.
Kako bi se održale karakteristike sastava premaza, plin za raspršivanje (argon ili kisik) mora biti čist i suh.Nakon ugradnje podloge u komoru za raspršivanje, potrebno je izvući vazduh kako bi se postigao potreban nivo vakuuma za proces.
2. Ciljno čišćenje
Svrha čišćenja mete je uklanjanje prašine ili prljavštine koja može postojati na površini mete.
3. Ciljna instalacija
Najvažnija stvar na koju treba obratiti pažnju tokom procesa ugradnje ciljanog materijala je osigurati dobru termičku vezu između ciljanog materijala i rashladnog zida pištolja za raspršivanje.Ako su zid za hlađenje ili stražnja ploča jako iskrivljeni, to može uzrokovati pucanje ili savijanje tokom ugradnje ciljanog materijala.Prenos toplote sa zadnje mete na ciljni materijal će biti u velikoj meri pogođen, što će rezultirati nemogućnošću rasipanja toplote tokom raspršivanja, što u konačnici dovodi do pucanja ili odstupanja ciljnog materijala.
4. Pregled kratkog spoja i brtvljenja
Nakon ugradnje ciljnog materijala potrebno je provjeriti kratki spoj i brtvljenje cijele katode.Preporučljivo je koristiti ohmmetar i megoommetar kako biste utvrdili da li je katoda kratko spojena.Nakon potvrde da katoda nije kratko spojena, može se izvršiti detekcija curenja ubrizgavanjem vode u katodu kako bi se utvrdilo ima li curenja.
5. Ciljni materijal pre prskanja
Preporučuje se korištenje čistog plina argona za prethodno raspršivanje ciljnog materijala, koji može očistiti površinu ciljanog materijala.Preporučuje se polagano povećanje snage raspršivanja tokom procesa prethodnog raspršivanja za ciljni materijal.Snaga keramičkog ciljanog materijala
Vrijeme objave: 19.10.2023