Ciljni materijal koji se koristi u industriji skladištenja podataka zahtijeva visoku čistoću, a nečistoće i pore moraju biti svedene na minimum kako bi se izbjeglo stvaranje čestica nečistoća tokom raspršivanja.Ciljni materijal koji se koristi za visokokvalitetne proizvode zahtijeva da njegova veličina kristalnih čestica bude mala i ujednačena, te da nema kristalnu orijentaciju.U nastavku, pogledajmo zahtjeve industrije optičkog skladištenja za ciljni materijal?
1. Čistoća
U praktičnim primjenama, čistoća ciljanih materijala varira u zavisnosti od različitih industrija i zahtjeva.Međutim, sveukupno, što je veća čistoća ciljanog materijala, to su bolje performanse raspršenog filma.Na primjer, u industriji optičkog skladištenja, čistoća ciljanog materijala mora biti veća od 3N5 ili 4N
2. Sadržaj nečistoća
Ciljni materijal služi kao izvor katode u raspršivanju, a nečistoće u čvrstom stanju i kiseonik i vodena para u porama su glavni izvori zagađenja za taloženje tankih filmova.Osim toga, postoje posebni zahtjevi za mete različite namjene.Uzimajući industriju optičkog skladištenja kao primjer, sadržaj nečistoća u metama za raspršivanje mora biti kontroliran na vrlo niskom nivou kako bi se osigurala kvaliteta premaza.
3. Veličina zrna i distribucija veličine
Obično, ciljni materijal ima polikristalnu strukturu, sa veličinom zrna u rasponu od mikrometara do milimetara.Za mete sa istim sastavom, brzina raspršivanja finozrnatih meta je veća od one sa krupnozrnim metama.Za mete s manjim razlikama u veličini zrna, debljina nanesenog filma će također biti ujednačenija.
4. Kompaktnost
Kako bi se smanjila poroznost u čvrstom ciljnom materijalu i poboljšale performanse filma, općenito je potrebno da ciljni materijal za raspršivanje ima veliku gustoću.Gustoća ciljanog materijala uglavnom ovisi o procesu pripreme.Ciljni materijal proizveden metodom topljenja i livenja može osigurati da nema pora unutar ciljanog materijala i da je gustoća vrlo visoka.
Vrijeme objave: Jul-18-2023