Trenutno, gotovo sve metalne bakrene mete visoke klase ultra-visoke čistoće koje zahtijeva IC industrija monopolizira nekoliko velikih stranih multinacionalnih kompanija.Sve mete ultra čistog bakra koje su potrebne domaćoj IC industriji moraju biti uvezene, što je ne samo skupo, već je i komplikovano u uvoznim procedurama. Stoga Kina hitno mora poboljšati razvoj i verifikaciju meta za raspršivanje bakra ultra visoke čistoće (6N) .Hajde da pogledamo ključne tačke i poteškoće u razvoju meta za raspršivanje bakra ultra-visoke čistoće (6N).
1、Razvoj materijala ultra visoke čistoće
Tehnologija prečišćavanja Cu, Al i Ta metala visoke čistoće u Kini je daleko od one u industrijski razvijenim zemljama.Trenutno, većina metala visoke čistoće koji se mogu nabaviti ne mogu zadovoljiti zahtjeve kvaliteta integriranih kola za mete za raspršivanje prema konvencionalnim metodama analize svih elemenata u industriji.Broj inkluzija u meti je previsok ili neravnomjerno raspoređen.Čestice se često formiraju na pločici tokom raspršivanja, što rezultira kratkim spojem ili prekidom strujnog spoja, što ozbiljno utiče na performanse filma.
2、Razvoj tehnologije pripreme mete raspršivanjem bakra
Razvoj tehnologije pripreme meta za raspršivanje bakra uglavnom se fokusira na tri aspekta: veličinu zrna, kontrolu orijentacije i uniformnost.Industrija poluprovodnika ima najviše zahtjeve za mete za raspršivanje i isparavanje sirovina.Ima vrlo stroge zahtjeve za kontrolu veličine zrna površine i orijentacije kristala mete.Veličina zrna mete mora se kontrolisati na 100μ M ispod, dakle, kontrola veličine zrna i sredstva korelacione analize i detekcije su veoma važni za razvoj metalnih meta.
3、Razvoj analize itestiranje tehnologije
Visoka čistoća mete znači smanjenje nečistoća.U prošlosti su se za određivanje nečistoća koristile induktivno spregnuta plazma (ICP) i atomska apsorpciona spektrometrija, ali se posljednjih godina kao standard postepeno koristi analiza kvalitete sjajnog pražnjenja (GDMS) s većom osjetljivošću. metoda.Metoda omjera rezidualnog otpora RRR se uglavnom koristi za određivanje električne čistoće.Njegov princip određivanja je da se proceni čistoća osnovnog metala merenjem stepena elektronske disperzije nečistoća.Pošto se radi o mjerenju otpora na sobnoj temperaturi i vrlo niskoj temperaturi, broj je jednostavno uzeti.Posljednjih godina, kako bi se istražila suština metala, vrlo su aktivna istraživanja ultra-visoke čistoće.U ovom slučaju, RRR vrijednost je najbolji način za procjenu čistoće.
Vrijeme objave: 06.05.2022