Poslednjih godina, sa napretkom tehnologije integrisanih kola (IC), srodne primene integrisanih kola su se brzo razvijale.Meta za raspršivanje od legure aluminijuma ultra visoke čistoće, kao pomoćni materijal u proizvodnji metalnih interkonekcija integrisanih kola, postala je vruća tema u nedavnim domaćim istraživanjima.urednik RSM će nam pokazati karakteristike mete za raspršivanje od legure aluminijuma visoke čistoće.
Kako bi se dodatno poboljšala efikasnost raspršivanja magnetronske mete za raspršivanje i osigurala kvaliteta nanesenih filmova, veliki broj eksperimenata pokazuje da postoje određeni zahtjevi za sastav, mikrostrukturu i orijentaciju zrna meta za raspršivanje od legure aluminijuma ultra visoke čistoće.
Veličina zrna i orijentacija zrna mete imaju veliki uticaj na pripremu i svojstva IC filmova.Rezultati pokazuju da se stopa taloženja smanjuje s povećanjem veličine zrna;Za metu za raspršivanje sa istim sastavom, brzina raspršivanja mete sa malom veličinom zrna je veća od one mete sa velikom veličinom zrna;Što je ujednačenija veličina zrna mete, to je ravnomjernija raspodjela debljine nanesenih filmova.
Pod istim instrumentom za raspršivanje i parametrima procesa, brzina raspršivanja mete legure Al Cu raste s povećanjem atomske gustoće, ali je općenito stabilna u rasponu.Utjecaj veličine zrna na brzinu raspršivanja je posljedica promjene atomske gustoće s promjenom veličine zrna;Na brzinu taloženja uglavnom utiče orijentacija zrna legure Al Cu.Na osnovu osiguravanja udjela (200) kristalnih ravni, povećanje udjela (111), (220) i (311) kristalnih ravni će povećati stopu taloženja.
Veličina zrna i orijentacija zrna aluminijskih legura ultra-visoke čistoće uglavnom se prilagođavaju i kontroliraju homogenizacijom ingota, vrućom obradom i rekristalizacijskim žarenjem.Sa razvojem veličine pločice na 20,32 cm (8 in) i 30,48 cm (12 in), ciljna veličina se takođe povećava, što postavlja veće zahtjeve za mete za raspršivanje od legure aluminijuma ultra visoke čistoće.Da bi se osigurao kvalitet filma i prinos, parametri ciljane obrade moraju biti strogo kontrolirani kako bi ciljna mikrostruktura bila ujednačena, a orijentacija zrna mora imati jake (200) i (220) ravne teksture.
Vrijeme objave: Jun-30-2022