Kako bi se podržao piezoelektrični MEMS (pMEMS) senzor i radiofrekvencijski (RF) filter komponenti, aluminijska skandijeva legura proizvedena od strane Rich Special Material Co., Ltd. posebno se koristi za reaktivno taloženje folija aluminij nitrida dopiranih skandijem. .
Tankoslojni piezoelektrični materijali se sve više koriste u automobilskoj, industrijskoj i ličnoj elektronskoj opremi.Primjene uključuju senzore otiska prsta na bazi pmt i uređaje za prepoznavanje pokreta, MEMS mikrofone, hemijske senzore bazirane na rezonatorima i medicinske senzore.Osim toga, folije od aluminijum nitrida dopirane skandijem sve su potrebnije za realizaciju RF filtera za 5G mrežne aplikacije.Istovremeno se povećava količina legure aluminijuma skandijuma.
Svojstva Al Sc legure
Visoko konzistentna hemijska homogenost u celoj leguri
Visoko konzistentna hemijska homogenost filma tokom životnog veka čipa i legure
Čistoća>99,9%, nizak sadržaj kiseonika, nizak sadržaj kritičnih zagađivača
Strogo kontrolirajte mikrostrukturu kako biste postigli najbolje performanse raspršivanja
Vakuumsko livena, potpuno gusta legura sa niskim prijanjanjem, malom varijabilnosti i niskom granularnošću
Rich Special Material Co., Ltd. podržava razne usluge topljenja legura, prilagođavanje cilja i usluge istraživanja i razvoja.
Vrijeme objave: 11.11.2022