Prednosti cilindričnih i planarnih magnetronskih meta za raspršivanje

Tehnički konsultant RSM-a će sa vama podeliti prednosti cilindričnih i planarnih magnetronskih meta za raspršivanje?U poređenju sa drugim magnetronskim metama za raspršivanje, cilindrične i planarne mete za raspršivanje magnetrona zadržavaju prednosti dobre uniformnosti prevlake pravougaonih ravnih meta i mogu maksimalno iskoristiti mete na sljedeća dva načina:

(1) Kada dvije grupe (četiri) prstenastih jama na površini mete dostignu određenu dubinu, ciljno jezgro (magnetni dio) može se zarotirati za 45° u odnosu na ciljnu cijev, tako da ostala područja na ciljnoj cijevi koji nisu korodirani mogu se koristiti;

(2) Kada je ciljno jezgro cilindrične i planarne mete za raspršivanje magnetrona dizajnirano kao rotirajuće ciljno jezgro (jezgro mete se rotira tokom raspršivanja), površina mete može se ravnomjerno raspršiti sloj po sloj bez udubljenja.U ovom trenutku, meta će se koristiti najefikasnije, a stopa iskorištenja mete može doseći 50% ~ 60% Kada je ciljni materijal plemeniti metal, ovo je očigledno od velikog značaja.

Korištenjem principa magneta sa snopom u koaksijalnoj cilindričnoj magnetronskoj meti za raspršivanje kako bi se riješio problem krajnjeg magnetnog polja, pravokutna ravna meta može se transformirati u cilindričnu i ravnu metu za raspršivanje magnetrona, meta može maksimizirati stopu iskorištenja mete zadržavajući dobru uniformnost premaza pravougaone ravne mete kako bi se poboljšale ekonomske koristi.